연구장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술원
장비명
박막측정기 (AS IQ Surface Profiler)
모델명
Alpha-Step IQ
제작사(국가)
미국
제작년도
2008
용도
분석
분류
물리적측정장비
취득일
2008.04.21
장비설명
*특징-접촉식(Stylus) 측정 방식으로 시료 위에 도포시킨 각종 박막의 표면을 scanning하여 박막의 두께를 0.1 Angstrom의 분해능으로 측정하고 표면의 거칠기 및 상태를 확인한다.-silicon wafer 나 glass 등 시료 위에 Design상 요구된 pattern 박막의 두께가 정확히 형성되었는지 또는 박막의 식각 공정 후 정확한 깊이 또는 높이의 공정이 이루어 졌는지를 확인할 수 있는 장비이다.-화학물질로 형성된 여러 종류의 박막 두께와 넓이 박막의 균일성을 0.1 Angstrom의 분해능으로 정확하게 측정한다.
장비구성

성능
*구성및성능-stylus 5um-60Degree Radius-Zoom optics (88-247x) -Maximum Scan Length : 10 mm-Manual precision X-Y stage 6.2" diameter theta table -Acoustic Isolation hood and vibration isolation supports
NTIS NO
NFEC-2010-09-083501
E-Tube NO
0804-F-0114

장비이용안내

사용방법
기관의뢰
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
(재)철원플라즈마기업지원연구동
장비상태
정상
담당자
신정철
연락처
0334529881
팩스
0334529883
사용방법
전화

주소: (24047) 강원도 춘천시 신북읍 신북로 61-10 강원테크노파크 기술혁신지원센터 TEL/033-248-5611
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